誘電体バリア放電イオン化検出器

Inventor： ,
Applicant, Patent owner： ,
Agent (1)：野口大輔
Gazette classification：特許公報
Application number (International application number)：2019009204
Publication number (International publication number)：2020118532
Patent number：7133123
Application date： Jan. 23, 2019
Publication date： Aug. 06, 2020
Claim (excerpt)：

【請求項1】誘電体管を有し、前記誘電体管の外壁に一対の電極が取り付けられており、前記一対の電極は前記誘電体管の管軸に沿う方向に互いに間隔をもって配置され、前記誘電体管の第1端からプラズマ生成ガスが導入され、前記誘電体管の内部で誘電体バリア放電を発生させてプラズマを生成する放電部と、試料ガスを導入するための試料ガス導入部及びイオンを収集するための収集電極を有し、前記放電部において生成されたプラズマから発せられる光を利用して前記試料ガス中の成分をイオン化し、生成されたイオンを前記収集電極により収集して検出する検出部と、前記一対の電極の間に電位差を生じさせる電圧印加部と、を備え、前記電圧印加部は、交流電源、及び、前記交流電源に接続され、前記一対の電極の間の電位差が周期的に所定の最大電位差に達するように、前記一対の電極のそれぞれの電位を変動させるように構成された回路部を備えており、前記電圧印加部は、前記一対の電極のそれぞれに対して互いに位相の反転した電位を与えるものであり、前記電圧印加部の前記回路部は、前記交流電源から印加される電圧を昇圧させる第1昇圧トランス及び第2昇圧トランスを備え、前記第1昇圧トランスの1次側コイルと前記第2昇圧トランスの1次側コイルは互いに並列に前記交流電源に接続され、前記第1昇圧トランスの2次側コイルの第1端と前記第2昇圧トランスの2次側コイルの第2端が常に互いに位相の反転した電位となるように、前記第1昇圧トランスの2次側コイルの第2端と前記第2昇圧トランスの2次側コイルの第1端が接地されており、前記第1昇圧トランスの2次側コイルの第1端が前記一対の電極の一方に接続され、前記第2昇圧トランスの2次側コイルの第2端が前記一対の電極の他方に接続されている、誘電体バリア放電イオン化検出器。

IPC (2)：

G01N 27/70 ( 200 6.01) , H05H 1/24 ( 200 6.01)

FI (2)：

G01N 27/70 , H05H 1/24

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (4)

誘電体バリア放電ランプ駆動装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2001-373154 Applicant：ハリソン東芝ライティング株式会社
誘電体バリア放電イオン化検出器
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2016-175501 Applicant：株式会社島津製作所, 国立大学法人大阪大学
放電管駆動装置及び回路
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2004-260651 Applicant：マイクロスペース株式会社, 太陽誘電株式会社

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