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J-GLOBAL ID:202303006358655100

振幅計測装置及び振幅計測方法

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (4): 三好 秀和 ,  高橋 俊一 ,  伊藤 正和 ,  高松 俊雄
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2021121704
Publication number (International publication number):2023017431
Application date: Jul. 26, 2021
Publication date: Feb. 07, 2023
Summary:
【課題】レイテンシーを低減することが可能な振幅計測装置及び振幅計測方法を提供する。 【解決手段】周期波形の低周波成分を除去するハイパスフィルタ41と、ハイパスフィルタ41を通過した低域除去信号を二乗する第1の二乗回路45と、低域除去信号を微分する微分器43を有する。微分器43を通過した波形を二乗する第2の二乗回路46と、第1の二乗回路45の出力信号と、第2の二乗回路の出力信号を加算する加算器47を備える。 【選択図】 図3
Claim (excerpt):
原子間力顕微鏡に用いられるカンチレバーに発生する周期波形の振幅を計測する振幅計測装置であって、 前記周期波形の低周波成分を除去するハイパスフィルタと、 前記ハイパスフィルタを通過した低域除去信号を二乗する第1の二乗回路と、 前記低域除去信号を微分する微分器と、 前記微分器を通過した波形を二乗する第2の二乗回路と、 前記第1の二乗回路の出力信号と、前記第2の二乗回路の出力信号を加算する加算器と、 を備えたことを特徴とする振幅計測装置。
IPC (2):
G01Q 60/32 ,  G01Q 20/02
FI (2):
G01Q60/32 ,  G01Q20/02

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