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J-GLOBAL ID：202403005126600270

ターボ分子ポンプ、及びその製造方法

Inventor： 神谷 潤一郎 ,  和田 薫 ,  ナン ティン ティン トゥエ ,  上原 孝浩 ,  馬渕 拓也 ,  桜井 充
Applicant, Patent owner： 国立研究開発法人日本原子力研究開発機構 ,  株式会社大阪真空機器製作所
Agent (2)： 山本 晃司 ,  小田原 敬一
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2022142703
Publication number (International publication number)：2024038591
Application date： Sep. 08, 2022
Publication date： Mar. 21, 2024
Summary：

【課題】高い真空排気性能を実現することができるターボ分子ポンプを提供する。 【解決手段】ターボ分子ポンプ1には、回転の軸線Axに沿って複数段のロータ翼31aを有するロータ30と、軸線Axに沿って複数段のロータ翼31aの間にそれぞれ配置される複数段のステータ翼14aと、それらのロータ30、及び複数段のステータ翼14aを内部に収容するケーシング11と、が設けられる。そして、それらの複数段のロータ翼31a、複数段のステータ翼14a、及びケーシング11を含むそのケーシング11の内部の少なくとも一部は、その素材に含まれるガスを放出させるための真空ベーキング処理が施された材料によって形成される。 【選択図】図2

Claim (excerpt)：

回転の軸線に沿って複数段のロータ翼を有するロータと、前記軸線に沿って前記複数段のロータ翼の間にそれぞれ配置される複数段のステータ翼と、前記ロータ、及び前記複数段のステータ翼を内部に収容するケーシングと、が設けられるターボ分子ポンプであって、 前記複数段のロータ翼、前記複数段のステータ翼、及び前記ケーシングを含む当該ケーシングの内部の少なくとも一部は、素材に含まれるガスを放出させるための所定の熱処理が施された材料によって形成されている、ターボ分子ポンプ。

IPC (1)：

F04D 19/04

FI (1)：

F04D19/04 C

F-Term (5)：

3H131AA02 ,  3H131BA03 ,  3H131CA03 ,  3H131CA34 ,  3H131CA35

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (3)

• 特開平4-370394号公報
  
• 特表平7-509036号公報
  
• ターボ分子ポンプ、真空ポンプシステム、及び真空チャンバを排気する方法
  Gazette classification：公表公報   Application number：特願2021-570362   Applicant：エドワーズリミテッド