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J-GLOBAL ID：202403016136132713

ワイヤグリッド型偏光素子、及びその製造方法

Inventor：
穂苅 遼平

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栗原 一真

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高桑 恭平

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山本 明孝

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山口 祐介

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Applicant, Patent owner：
国立研究開発法人産業技術総合研究所

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東海精密工業株式会社

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Agent (3)： 赤塚 正樹 ,  石井 良和 ,  中 敦士
Gazette classification：特許公報
Application number (International application number)：2019117465
Publication number (International publication number)：2021004928
Patent number：7477085
Application date： Jun. 25, 2019
Publication date： Jan. 14, 2021
Claim (excerpt)：
【請求項1】 透明なシート(A)の表面に同じ向きかつ同じ周期で一次元格子状に設けられた溝部と、更にこれらの各溝部の裏面側先端部に下記先端部(D)を形成するために連続して設けられた溝部とからなる多数の溝部(C)に、金属反射体(B)が埋め込まれたワイヤグリッド型偏光素子であって、該金属反射体(B)は、シート(A)の表面側から裏面側への厚み方向において一次元格子状の金属反射部(H)と、該金属反射部(H)の厚み方向先端の突出開始部から先端方向に突出するように形成されていて、かつ前記一次元格子状の配列の長手方向と垂直の断面、又は前記一次元格子状の配列の長手方向と平行でシート(A)に垂直の断面の少なくともいずれか一方の断面における形状が最先端方向にいくほど突出開始部の幅から直線状で徐々に細くなっていって最先端部で交叉している形状である先端部(D)とからなり、前記金属反射部(H)の平均幅(a)が200nm以下であり、シート(A)の表面側から裏面方向の先端部(D)の最先端部までの金属反射体(B)の平均厚み(b)と前記金属反射部(H)の平均幅(a)の比(b/a)が4~25の範囲内であり、前記先端部(D)における突出開始部から裏面方向の最先端部までの平均長さ(c)と、前記金属反射体(B)の平均厚み(b)との比(c/b)が0.127以上0.315以下であり、前記先端部(D)における突出開始部から裏面方向の最先端部までの平均長さ(c)と突出開始部の平均幅(a)との比(c/a)が1.2以上4.7以下であり、前記先端部(D)におけるいずれかの断面形状が、以下の(i)から(iii)のいずれかに記載の略二等辺三角形である、ことを特徴とするワイヤグリッド型偏光素子。(i)前記一次元格子状の配列の長手方向と垂直の任意の断面形状において、底辺が突出開始部に位置して頂点が最先端方向に位置する略逆二等辺三角形の形状(ワイヤグリッド型偏光素子(R1)) (ii)前記一次元格子状の配列の長手方向と平行でかつシート(A)表面と垂直の断面形状において、前記一次元格子状の配列の長手方向と平行方向に連続した三角波の形状で、該三角波の形状は底辺が突出開始部に位置して頂点が最先端方向に位置する、略逆二等辺三角形の形状(ワイヤグリッド型偏光素子(R2))(iii)底面が突出開始部に位置し、かつ長辺が交差する頂点が最先端方向に位置する略正四角錐の形状体が前記一次元格子状の配列の長手方向と平行方向に連続して配置されている形状で、頂点を通る前記一次元格子状の配列の長手方向と平行方向でかつ底面と垂直の断面形状において底辺が突出開始部に位置して頂点が最先端方向に位置する、略逆二等辺三角形の形状(ワイヤグリッド型偏光素子(R3))
IPC (1)：
G02B 5/30 ( 200 6.01)
FI (1)：
G02B 5/30
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (7)
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