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J-GLOBAL ID：200902282755900084   Reference number：09A0296924

Influence of Deposition Conditions on Mechanical Properties of Optical Coatings Prepared by Electron Beam Evaporation

電子ビーム蒸着により調製した光学皮膜の機械的性質に対する蒸着条件の影響

Author (4)： INOMATA T. (Opto-Soltec, Inc., Ibaraki, JPN) ,  MURO K. (Utsunomiya Univ., Tochigi, JPN) ,  AOKI T. (Opto-Soltec, Inc., Ibaraki, JPN) ,  OGURA S. (Kobe Design Univ., Hyogo, JPN)
Material： Proceedings of the Annual Technical Conference. Society of Vacuum Coaters  (Annual Technical Conference Proceedings. Society of Vacuum Coaters)
Volume： 51st  Page： 618-621  Publication year： 2008 
JST Material Number： E0063B  ISSN： 0737-5921  Document type： Proceedings
Article type： 短報  Country of issue： United States (USA)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： silicon oxide ,  aluminum oxide ,  titanium oxide ,  hafnium oxide ,  tantalum oxide ,  niobium oxide ,  *ceramic membrane ,  electron beam deposition ,  adhesion property ,  *indentation hardness ,  *elastic modulus ,  substrate temperature ,  pressure ,  growth rate

JST classification (1)： Oxide thin films  (BK14050P)

Terms in the title (6)： 電子ビーム蒸着 ,  調製 ,  光学 ,  皮膜 ,  機械的性質 ,  蒸着