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J-GLOBAL ID：200902207372350526   整理番号：04A0692341

RFマグネトロンスパッタ法によるCu₂O:N/ZnO多結晶ヘテロ接合

著者 (8件)： 那波優 (筑波大 物工) ,  佐藤晴彦 (筑波大 物工) ,  柳田将志 (筑波大 物工) ,  石塚尚吾 (産業技術総合研) ,  桜井岳暁 (筑波大 物工) ,  松原浩司 (産業技術総合研) ,  仁木栄 (産業技術総合研) ,  秋本克洋 (筑波大 物工)
資料名： 応用物理学会学術講演会講演予稿集  (Extended Abstracts. Annual Meeting. Japan Society of Applied Physics)
巻： 65th  号： 2  ページ： 550  発行年： 2004年09月01日 
JST資料番号： Y0055A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

シソーラス用語： RFスパッタリング ,...

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分類 (2件)： 酸化物薄膜  (BK14050P) ,  13-15族化合物を含まない半導体-半導体接合  (BM03083P)

タイトルに関連する用語 (5件)： RFマグネトロンスパッタ法 ,  Cu2O ,  ZnO ,  多結晶 ,  ヘテロ接合