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J-GLOBAL ID:200902129213656346   整理番号:94A0298793

Silicon chemical vapor deposition from Si2Cl6 and Si3Cl8.

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資料名:
ページ: 1249-1252  発行年: 1993年 
JST資料番号: K19940241  ISBN: 0-87339-256-6  資料種別: 会議録 (C)
発行国: アメリカ合衆国 (USA)  言語: 英語 (EN)
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