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J-GLOBAL ID：200902143749469797   整理番号：01A0087874

アブレーションプラズマのプロセス応用 3 アブレーションプラズマ生成・制御 1 レーザー

Applications of Ablation Plasma for Processes. 3. Generation and Control of Ablation Plasma. 1. Laser.

著者 (3件)： 小林猛 (大阪大 大学院 基礎工学研究科) ,  秋吉秀樹 (大阪大 大学院 基礎工学研究科) ,  佐藤一成 (大阪大 大学院 基礎工学研究科)
資料名： プラズマ・核融合学会誌  (Journal of Plasma and Fusion Research)
巻： 76  号： 11  ページ： 1145-1150  発行年： 2000年11月25日 
JST資料番号： G0114A  ISSN： 0918-7928  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 解説  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： レーザにより発生したアブレーションプラズマを利用した成膜法で...

シソーラス用語： *レーザアブレーション ,...

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分類 (2件)： プラズマ応用  (BJ02110K) ,  プラズマ中の電磁波  (BJ02032F)

タイトルに関連する用語 (5件)： プロセス ,  応用 ,  アブレーション ,  プラズマ生成 ,  レーザー