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J-GLOBAL ID：201702218829839848   整理番号：17A0158775

MgO/CoFeB/Ta多層膜における垂直磁気異方性に及ぼすMgO厚さと粗さの影響【Powered by NICT】

Effects of MgO Thickness and Roughness on Perpendicular Magnetic Anisotropy in MgO/CoFeB/Ta Multilayers

著者 (5件)： Liu Yi (School of Physics and Nuclear Energy Engineering, Beihang University) ,  Yu Tao (School of Physics and Nuclear Energy Engineering, Beihang University) ,  Zhu Zhengyong (Institute of Microelectronics, Chinese Academy of Sciences) ,  Zhong Huicai (Integrated Circuit Advanced Process Center, Institute of Microelectronics, Chinese Academy of Sciences) ,  Zhu Kaigui (School of Physics and Nuclear Energy Engineering, Beihang University)
資料名： Chinese Physics Letters  (Chinese Physics Letters)
巻： 33  号： 10  ページ： 107804_01-107804_04  発行年： 2016年 
JST資料番号： W1191A  ISSN： 0256-307X  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 中国 (CHN)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： MgO/CoFeB/Ta多層膜の障壁層MgO厚さに垂直磁気異方性(PMA)の依存性を調べた。結果は,最も強いPMAはL10nmからMgO厚さの増加で約2~4nmの小さな窓で起こることを示した。MgOの結晶度および面外方向に沿った原子間距離の変化は,これらの多層膜のPMAの変化の主な理由である可能性がある。さらに,2-4nm厚さのMgO試料の粗さはそれぞれ3.163及び1.8nmでそれぞれ,両試料は,PMAを示した。これらの結果は,垂直磁気デバイスにおける将来の応用のためのCoFeB超薄膜の磁気特性を調整するために使用することができた。Data from the ScienceChina, LCAS. Translated by JST【Powered by NICT】

シソーラス用語： 結晶度 ,  磁気的性質 ,  *多層膜 ,  核間距離 ,  *垂直磁気異方性 ,  超薄膜 ,  *酸化マグネシウム
準シソーラス用語： 磁気デバイス ,  バリア層 , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (1件)： 金属の磁気異方性・磁気機械効果  (BM06102S)

タイトルに関連する用語 (5件)： MgO ,  Ta ,  多層膜 ,  垂直磁気異方性 ,  粗さ