文献

J-GLOBAL ID：201602227652348357   整理番号：16A1385738

振動負荷とモデリングによる加速ストレス試験下のスパッタ蒸着したアルミニウム薄膜の信頼性【Powered by NICT】

Reliability of sputtered thin aluminium films under accelerated stress testing by vibration loading and modeling

著者 (7件)： Wunderle B. (Technische Universiaet Chemnitz, Professur Werkstoffe und Zuverlaessigkeit mikrotechnischer Systeme, Reichenhainer Str. 70, 09126, Germany) ,  Onken T. (Technische Universiaet Chemnitz, Professur Werkstoffe und Zuverlaessigkeit mikrotechnischer Systeme, Reichenhainer Str. 70, 09126, Germany) ,  Heilmann J. (Technische Universiaet Chemnitz, Professur Werkstoffe und Zuverlaessigkeit mikrotechnischer Systeme, Reichenhainer Str. 70, 09126, Germany) ,  Silbernagl D. (Bundesanstalt fuer Materialforschung und -pruefung BAM, 12205 Berlin, Germany) ,  Arnold J. (Technische Universiaet Chemnitz, Professur Werkstoffe und Zuverlaessigkeit mikrotechnischer Systeme, Reichenhainer Str. 70, 09126, Germany) ,  Bieniek T. (Instytut Technologii Elektronowej ITE, 02-668 Warszawa, Poland) ,  Pufall R. (Infineon Technologies AG, 85579 Neubiberg, Germany)
資料名： IEEE Conference Proceedings  (IEEE Conference Proceedings)
巻： 2016  号： ESTC  ページ： 1-14  発行年： 2016年 
JST資料番号： W2441A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： アルミニウムはまだMOSFETやIGBTなどのパワーエレクトロニクスチップのための最も重要な接触メタライゼーションの一つである。アルミニウムとシリコンの間の熱膨張係数(CTE)と高出力過渡時ホットスポットで発生した温度の大きな違いにより,これらの層は熱機械的疲労により失敗しがちである。通常寿命評価は,例えば,能動的または受動的熱サイクルとして専用試験片を標準化されたストレス試験することによって行われる。等温機械的荷重による高サイクル疲れ領域における薄いアルミニウム膜の加速応力試験と寿命モデリングのための新しい方法を提案した。提案した新しい試験法は,資源要求熱サイクル試験を補完又は置換し,破壊の単純なin-situモニタリングを可能にすることが示唆された。Copyright 2016 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All Rights reserved. Translated from English into Japanese by JST【Powered by NICT】

シソーラス用語： 高サイクル疲れ ,  ホットスポット ,  熱サイクル ,  メタライゼーション ,  *モデリング ,  試験片 ,  *負荷試験 ,  MOSFET ,  標準化 ,  熱膨張係数 ,  *アルミニウム ,  寿命評価 ,  IGBT
準シソーラス用語： 熱サイクル試験 ,  熱機械的疲れ , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (3件)： パターン認識  (JE07000S) ,  音声処理  (JE05000E) ,  音響信号処理  (BB03050C)

タイトルに関連する用語 (6件)： モデリング ,  加速 ,  ストレス試験 ,  スパッタ蒸着 ,  アルミニウム ,  薄膜