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J-GLOBAL ID:201602241542475072   整理番号:16A0698631

IC読出しMS3110微分容量を用いた二重目的ジャイロ/加速度計装置の加速特性【Powered by NICT】

Acceleration characterization of dual purpose gyro/accelerometer device using MS3110 differential capacitive read out IC
著者 (6件):
資料名:
巻: 2016  号: MicroCom  ページ: 1-5  発行年: 2016年 
JST資料番号: W2441A  資料種別: 会議録 (C)
記事区分: 原著論文  発行国: アメリカ合衆国 (USA)  言語: 英語 (EN)
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チップサイズはナビゲーション支援のための任意のシステムの実現のための考慮した重要な因子である。ジャイロ/加速度計のような二重目的装置は研究者の関心チップのサイズを低減するために増加しているが,ジャイロと加速度計の両方の機能を提供する。内アンカリングジャイロスコープ構造をもつ2自由度駆動モードと1自由度検出モードの加速度応答の設計,動力学および実験的特性評価を提示した。同じ構造は加速度測定にも使用できることが示されている;,ジャイロ/加速度計と見なすことができる。試験はMS3110微分容量性読み出しICと評価ボードを用いたセンサチップをインタフェイスにより行った。面外加振機(作りLDS)は,センサを特性化するために正弦波状プロファイルを持つ振動を生成するために用いた。Copyright 2016 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All Rights reserved. Translated from English into Japanese by JST【Powered by NICT】
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