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J-GLOBAL ID：201602289648489638   整理番号：16A1342274

赤外線マイクロスペクトロメータ用のMEMS型Fabry-Perotフィルタ:レビュー

Tunable MEMS Fabry-Perot filters for infrared microspectrometers: A review

著者 (6件)： EBERMANN Martin (InfraTec GmbH, Dresden, DEU) ,  NEUMANN Norbert (InfraTec GmbH, Dresden, DEU) ,  HILLER Karla (Univ. Chemnitz, Chemnitz, DEU) ,  SEIFERT Mario (Univ. Chemnitz, Chemnitz, DEU) ,  MEINIG Marco (Fraunhofer ENAS, Chemnitz, DEU) ,  KURTH Steffen (Fraunhofer ENAS, Chemnitz, DEU)
資料名： Proceedings of SPIE  (Proceedings of SPIE)
巻： 9760  ページ： 97600H.1-97600H.20  発行年： 2016年 
JST資料番号： D0943A  ISSN： 0277-786X  CODEN： PSISDG  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 文献レビュー  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 赤外分光法は,様々な分野で広く利用されている。多くの応用分野では,小型でロバストな可搬型スペクトロメータが求められている。可搬型スペクトロメータとしてマイクロスペクトロメータに着目した。マイクロスペクトロメータに利用される光学素子について展望した。赤外線マイクロスペクトロメータでの光学素子として,Fabry-Perotフィルタを取り上げた。微細加工された同調可能なフィルタの現状を説明した。赤外分光用のMEMS型Fabry-Perotフィルタの製造技術を展望し,波長調整範囲,スペクトル分解能,開口サイズ,製造コスト,製造の複雑さ,光学性能パラメータなどについて論じた。小型化および光学的スループットなどの優れた技術を示した。

シソーラス用語： *光学フィルタ ,  *Fabry-Perot共振器 ,  MEMS ,  赤外分光法 ,  スループット ,  微細加工 ,  同調 ,  *分光計 ,  分解能 ,  小型化 ,  開口
準シソーラス用語： *Fabry-Perotフィルタ

分類 (2件)： 光デバイス一般  (BD06010L) ,  赤外・遠赤外領域の分光法と分光計  (BD07042H)

タイトルに関連する用語 (5件)： 赤外線 ,  スペクトロメータ ,  MEMS ,  Fabry-Perotフィルタ ,  レビュー