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J-GLOBAL ID：201702215541505764   整理番号：17A0402354

超薄TiO_2/ダイヤモンド光検出器の光電特性【Powered by NICT】

Photoelectrical characteristics of ultra thin TiO₂/diamond photodetector

著者 (11件)： Liu Zhangcheng (Institute of Wide Band Gap Semiconductors, Xi’an Jiaotong University, Xi’an 710049, China) ,  Liu Zhangcheng (Institute of Technology and Science, The University of Tokushima, Tokushima 770-8506, Japan) ,  Ao Jin-Ping (Institute of Technology and Science, The University of Tokushima, Tokushima 770-8506, Japan) ,  Li Fengnan (Institute of Wide Band Gap Semiconductors, Xi’an Jiaotong University, Xi’an 710049, China) ,  Wang Wei (Institute of Wide Band Gap Semiconductors, Xi’an Jiaotong University, Xi’an 710049, China) ,  Wang Wei (Shaanxi Key Laboratory of Photonics Technology for Information, Xi’an Jiaotong University, Xi’an 710049, China) ,  Wang Jingjing (Nation Key Laboratory of ASIC, HSRI, Shijiazhuang 050051, China) ,  Zhang Jingwen (Institute of Wide Band Gap Semiconductors, Xi’an Jiaotong University, Xi’an 710049, China) ,  Zhang Jingwen (Shaanxi Key Laboratory of Photonics Technology for Information, Xi’an Jiaotong University, Xi’an 710049, China) ,  Wang Hong-Xing (Institute of Wide Band Gap Semiconductors, Xi’an Jiaotong University, Xi’an 710049, China) ,  Wang Hong-Xing (Shaanxi Key Laboratory of Photonics Technology for Information, Xi’an Jiaotong University, Xi’an 710049, China)
資料名： Materials Letters  (Materials Letters)
巻： 188  ページ： 52-54  発行年： 2017年 
JST資料番号： E0935A  ISSN： 0167-577X  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 極薄TiO_2/ダイヤモンド上のUV光検出器の特性評価を行った。TiO_2膜を高周波マグネトロンスパッタリング法,交差指電極は光検出器を形成するためにパターン形成した単結晶ダイヤモンド表面上に堆積した。光検出器は,UVおよび可視領域の間に明らかな応答選択性を示し,約225nmと290nmのダイヤモンドとTiO_2の応答から,それぞれで二応答ピークを示し,検出範囲純ダイヤモンドまたはTiO_2光検出器の伸張を示した。TiO_2膜が薄くなったとき,過渡応答性能が向上した。Copyright 2017 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【Powered by NICT】

シソーラス用語： キャラクタリゼーション ,  過渡応答 ,  紫外線 ,  *ダイヤモンド ,  *検出器 ,  パターン形成 ,  *光検出器
準シソーラス用語： 可視領域 ,  単結晶ダイアモンド ,  交差指電極 ,  RFマグネトロンスパッタリング ,  光電気 , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (5件)： 薄膜 ,  Semiconductors ,  UV光検出器 ,  TiO_2 ,  ダイヤモンド

分類 (2件)： 光化学一般  (CB08010U) ,  酸化物薄膜  (BK14050P)

タイトルに関連する用語 (3件)： ダイヤモンド ,  光検出器 ,  光電特性