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J-GLOBAL ID：201702218160059859   整理番号：17A0297017

大規模薄膜トランジスタ液晶ディスプレイの一つのストライプ表示不均一性の解析と改善研究【JST・京大機械翻訳】

Analysis and improvement of a larger size TFT-LCD block mura

著者 (7件)： Liu Xiaowei (Fuzhou BOE Optoelectronics Technology Co.,Ltd.) ,  Tian Ming (Fuzhou BOE Optoelectronics Technology Co.,Ltd.) ,  Li Liangliang (Fuzhou BOE Optoelectronics Technology Co.,Ltd.) ,  Fu Yanqiang (Fuzhou BOE Optoelectronics Technology Co.,Ltd.) ,  Guo Huibin (福州京東方光電科技有限公司) ,  Liu Yao (Fuzhou BOE Optoelectronics Technology Co.,Ltd.) ,  Yuan Jianfeng (福州京東方光電科技有限公司)
資料名： Yejing yu Xianshi  (Yejing yu Xianshi)
巻： 31  号： 11  ページ： 1033-1037  発行年： 2016年 
JST資料番号： W1519A  ISSN： 1007-2780  CODEN： YYXIFY  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 中国 (CHN)  言語： 中国語 (ZH)

抄録/ポイント： 本論文では,大規模薄膜トランジスタ(LCD)における液晶ディスプレイの製品開発における新しい種類のストライプディスプレイの不均一性を研究した。走査電子顕微鏡、四探針測定装置と分光光度計により、この表示について分析を行ったが、このことは薄膜トランジスタアレイ基板上の金属配線の膜厚周期性変動と関係がなく、金属膜厚の周期的変動は液晶ディスプレイの液晶層の厚さの不均一性をもたらした。それにより,不均一性を示した。この膜厚の周期的ゆらぎは液晶相が広く用いられている平面ターゲットスパッタリング装置の構造に関係している。デバイス構造の改造により,面内の金属膜厚の均一性が向上し,この不良が改善された。Data from the ScienceChina, LCAS. Translated by JST【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： 走査電子顕微鏡 ,  素子構造 ,  配線 ,  *液晶ディスプレイ ,  *液晶 ,  プローブ ,  膜厚 ,  *不均一性 ,  ゆらぎ ,  製品開発 ,  スパッタリング装置 ,  分光光度計 ,  *薄膜トランジスタ ,  周期変化
準シソーラス用語： 周期性 , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (4件)： large size TFT-LCD ,  magnetron sputtering ,  flat target ,  Mura

分類 (2件)： 半導体薄膜  (BK14040E) ,  金属薄膜  (BK14030T)

タイトルに関連する用語 (6件)： 大規模 ,  薄膜トランジスタ ,  液晶ディスプレイ ,  表示不均一 ,  解析 ,  研究