BREILMANN W について
Ruhr-Univ. Bochum, Bochum, DEU について
MASZL C について
Ruhr-Univ. Bochum, Bochum, DEU について
HECIMOVIC A について
Ruhr-Univ. Bochum, Bochum, DEU について
KEUDELL A von について
Ruhr-Univ. Bochum, Bochum, DEU について
Journal of Physics. D. Applied Physics について
マグネトロンスパッタリング について
プラズマ について
エネルギー分布 について
気体 について
アルゴン について
効率 について
金属イオン について
パルスプラズマ について
イオンエネルギー分布 について
窒素ガス について
イオン化効率 について
薄膜成長技術・装置 について
固体-プラズマ相互作用 について
気体放電 について
反応性 について
高出力 について
パルス について
マグネトロンスパッタリング について
イオンエネルギー分布 について
窒素 について
混合物 について
アルゴン について