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J-GLOBAL ID：201702225976458116   整理番号：17A0381623

集中整合容量による炭化けい素差動出力圧力センサ【Powered by NICT】

A silicon carbide differential output pressure sensor by concentrically matched capacitance

著者 (4件)： Beker Levent (Mechanical Engineering, University of California, Berkeley, CA, USA) ,  Maralani Ayden (Mechanical and Aerospace Engineering, University of California, San Diego, CA, USA) ,  Lin Liwei (Mechanical Engineering, University of California, Berkeley, CA, USA) ,  Pisano Albert P. (Mechanical and Aerospace Engineering, University of California, San Diego, CA, USA)
資料名： IEEE Conference Proceedings  (IEEE Conference Proceedings)
巻： 2017  号： MEMS  ページ： 981-984  発行年： 2017年 
JST資料番号： W2441A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 本研究は非常に長いケーブルを通して比較的小さな静電容量変化を伝達し,信号雑音を低減するために同心円状に整合した微分容量出力(DCO)を利用した炭化けい素(SiC)に基づく,微細加工した過酷環境圧力センサについて述べた。集中整合静電容量(CMC)設計を利用することにより,DCOを用いたセンサは,新しく開発されたSiC表面マイクロマシニングプロセスにより作製することができた。実験では,センサは20□と180の温度で1.4MPaで1.4pFと1.2pFの圧力横隔膜出力を測定したが,参照環横隔膜は0.14pFで一定に留まる。そのようなものとして,このセンサは厳しい環境での応用のための活性電子のない小さな静電容量変化を転送するのに長いケーブルに沿った搭載でき,地熱井,エンジン,タービンである。Copyright 2017 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All Rights reserved. Translated from English into Japanese by JST【Powered by NICT】

シソーラス用語： 静電容量 ,  微細加工 ,  *炭化ケイ素 ,  横隔膜 ,  雑音 ,  *圧力センサ ,  地熱井 ,  *センサ ,  ケーブル ,  タービン ,  微分容量
準シソーラス用語： 過酷環境 ,  同心円 , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (1件)： 計測機器一般  (AD02000X)

タイトルに関連する用語 (4件)： 整合 ,  炭化けい素 ,  差動 ,  圧力センサ