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J-GLOBAL ID:201702228807941758   整理番号:17A0883588

溶液から作製した変調ドープIn_2O_3/ZnOヘテロ接合トランジスタ【Powered by NICT】

Modulation-Doped In2O3/ZnO Heterojunction Transistors Processed from Solution
著者 (11件):
資料名:
巻: 29  号: 19  ページ: ROMBUNNO.201605837  発行年: 2017年 
JST資料番号: W0001A  ISSN: 0935-9648  CODEN: ADVMEW  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: ドイツ (DEU)  言語: 英語 (EN)
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本論文では,200°Cでスピンコーティングを介して原子的に鋭いIn_2O_3/ZnOとIn_2O_3/LiドープZnO(In_2O_3/Li-ZnO)ヘテロ接合の制御された成長を報告し,nチャネル薄膜トランジスタ(TFT)におけるそれらの応用を評価した。ZnO中のLiの添加はn型ドーピングをもたらし,そのFermiエネルギーの正確な調整を可能にすることを示した。In_2O_3/ZnOヘテロ接合の場合には,n型ドープZnO層の存在は,界面上のIn_2O_3の最小の伝導バンドから移動した電子の増加量をもたらす,変調ドーピングと類似していた。電気的キャラクタリゼーションは,アイソタイプIn_2O_3/Li-ZnOヘテロ接合の電荷輸送特性と同様に得られたTFTの動作特性に及ぼすn型ドープZnO層の存在の大きな影響を明らかにした。In_2O_3/Li-ZnO界面微細構造,およびLi濃度の慎重な最適化により,電子移動度とTFTバイアス安定性の双方のかなりの増加を実証した。Copyright 2017 Wiley Publishing Japan K.K. All Rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【Powered by NICT】
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分類 (2件):
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原子・分子のクラスタ  ,  固-固界面 

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