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J-GLOBAL ID：201702231127595273   整理番号：17A0453800

反応性スパッタのモード遷移現象におけるAr圧力・Ar流量・排気速度の効果

著者 (6件)： 木村光佑 (成蹊大) ,  磯村航 (成蹊大) ,  大家渓 (成蹊大) ,  中野武雄 (成蹊大) ,  長尾昌善 (産業技術総合研) ,  大崎壽 (産業技術総合研)
資料名： 表面技術協会講演大会講演要旨集
巻： 135th  ページ： 10  発行年： 2017年03月01日 
JST資料番号： Y0050A  ISSN： 0917-2947  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

シソーラス用語： *反応性スパッタリング ,  アルゴン ,  圧力 ,  流量 ,  速度 ,  *ターゲット ,  *表面性状 ,  ガス圧 ,  排気速度

分類 (1件)： 気相めっき  (WC08022K)

タイトルに関連する用語 (6件)： 反応性スパッタ ,  モード遷移 ,  現象 ,  Ar ,  流量 ,  排気速度