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J-GLOBAL ID：201702233651791030   整理番号：17A0470706

イオンビームによる光学部品の高精度加工のための高性能設備と技術【Powered by NICT】

High-performance facility and techniques for high-precision machining of optical components by ion beams

著者 (10件)： Chkhalo N.I. (Institute for Physics of Microstructures of the Russian Academy of Sciences, GSP-105, 603950 Nizhny Novgorod, Russia) ,  Kaskov I.A. (Institute for Physics of Microstructures of the Russian Academy of Sciences, GSP-105, 603950 Nizhny Novgorod, Russia) ,  Malyshev I.V. (Institute for Physics of Microstructures of the Russian Academy of Sciences, GSP-105, 603950 Nizhny Novgorod, Russia) ,  Mikhaylenko M.S. (Institute for Physics of Microstructures of the Russian Academy of Sciences, GSP-105, 603950 Nizhny Novgorod, Russia) ,  Pestov A.E. (Institute for Physics of Microstructures of the Russian Academy of Sciences, GSP-105, 603950 Nizhny Novgorod, Russia) ,  Polkovnikov V.N. (Institute for Physics of Microstructures of the Russian Academy of Sciences, GSP-105, 603950 Nizhny Novgorod, Russia) ,  Polkovnikov V.N. (Nizhny Novgorod N.I. Lobachevskii State University, av. Gagarina, 23, 603950 Nizhny Novgorod, Russia) ,  Salashchenko N.N. (Institute for Physics of Microstructures of the Russian Academy of Sciences, GSP-105, 603950 Nizhny Novgorod, Russia) ,  Toropov M.N. (Institute for Physics of Microstructures of the Russian Academy of Sciences, GSP-105, 603950 Nizhny Novgorod, Russia) ,  Zabrodin I.G. (Institute for Physics of Microstructures of the Russian Academy of Sciences, GSP-105, 603950 Nizhny Novgorod, Russia)
資料名： Precision Engineering  (Precision Engineering)
巻： 48  ページ： 338-346  発行年： 2017年 
JST資料番号： A0734B  ISSN： 0141-6359  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： は光学素子の表面のイオンビーム処理のための高速施設について述べた。施設は,三種類の技術的イオン源,不活性又は反応性気体による動作を可能にする,と五軸ゴニオメータを備えている。二源(KLAN 103MとKLAN 163M)は広開口準平行イオンビームと集束イオンビーム(出力ビームの幅が横隔膜を変化させることによりO1 15mm)三イオン供給源を持っている。集束イオン源では,ダイヤフラムの端からスパッタされた材料工作物の表面への堆積を最小化する,最適なダイヤフラム材料(サファイア)とArエネルギー範囲(400eV以下)が見られた。可動工作物の概念はイオンビーム表面処理の三つの方法を1つの真空チャンバー内で実現可能にした:非球面化,局所形状誤差補正とイオン研磨。全ての表面処理方法の詳細な記述を与えた。表面誤差の横方向寸法に依存して局所形状誤差補正のためのイオンビーム直径と走査ステップを選択するためのアルゴリズムを提案した。施設はσ_eff=0.14nmまで表面形状のサブナノメータ精度と空間周波数q∈[2.510~-2 6.010~1μm~ 1]の範囲で効果的な粗さを持つ,非対称プロフィルを持つ高次非球面と直径300mmまでを含む複雑な(凸/凹)形状の光学表面を生産することができた。Copyright 2017 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【Powered by NICT】

シソーラス用語： 開口 ,  *イオン ,  ダイヤフラム ,  イオン源 ,  集束イオンビーム ,  *精密加工 ,  工作物 ,  *イオンビーム ,  非対称性 ,  誤り訂正 ,  集束 ,  高速度
準シソーラス用語： 表面形状 ,  非球面 ,  *光学部品 , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (7件)： Roughness ,  研磨 ,  非球面 ,  光作製 ,  X線 ,  軟X線 ,  極端紫外(EUV)

分類 (2件)： 長さ,面積,断面,体積,容積,角度の計測法・機器  (AD05020O) ,  特殊加工  (QC04000Y)

タイトルに関連する用語 (5件)： イオンビーム ,  光学部品 ,  高精度加工 ,  高性能 ,  設備