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J-GLOBAL ID:201702243560842897   整理番号:17A0755592

ドープシリコンナノワイヤチャネル電界効果トランジスタバイオセンサの電気的特性【Powered by NICT】

Electrical Characteristics of Doped Silicon Nanowire Channel Field-Effect Transistor Biosensors
著者 (8件):
資料名:
巻: 17  号:ページ: 667-673  発行年: 2017年 
JST資料番号: W1318A  ISSN: 1530-437X  CODEN: ISJEAZ  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: アメリカ合衆国 (USA)  言語: 英語 (EN)
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バイオセンシングのための操作条件の最適化は,ドープされたシリコンナノワイヤチャネルトランジスタセンサについて調べた。りんをドープしたハニカムナノワイヤチャネルを有するセンサは,従来のCMOS技術を用いた8インチウエハ上に作製した。低周波雑音特性から,雑音等価ゲート電圧変動は,センサ分解能を評価し,運転条件を最適化した。センサはフラットバンド電圧条件で最大分解能を示した。,ドーパミン,神経伝達物質の検出は,作製したデバイスを用いて示し,1fMの検出限界と2.3mV/log[ドーパミン]~60レベル/log[ドーパミン]の分解能での感度を示した。Copyright 2017 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All Rights reserved. Translated from English into Japanese by JST【Powered by NICT】
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分類 (2件):
分類
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分析機器  ,  力,仕事量,圧力,摩擦の計測法・機器 
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