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J-GLOBAL ID：201702253496353287   整理番号：17A0229328

非反応性ポリマーマトリックス内の原子層堆積による金属酸化物の堆積メカニズム:ポリマーの結晶性と温度の影響

Mechanism of Metal Oxide Deposition from Atomic Layer Deposition inside Nonreactive Polymer Matrices: Effects of Polymer Crystallinity and Temperature

著者 (6件)： OBUCHOVSKY Stas (Technion, Israel Inst. of Technol., Haifa, ISR) ,  FRANKENSTEIN Hadar (Technion, Israel Inst. of Technol., Haifa, ISR) ,  VINOKUR Jane (Technion, Israel Inst. of Technol., Haifa, ISR) ,  HAILEY Anna K. (Princeton Univ., New Jersey, USA) ,  LOO Yueh-Lin (Princeton Univ., New Jersey, USA) ,  FREY Gitti L. (Technion, Israel Inst. of Technol., Haifa, ISR)
資料名： Chemistry of Materials  (Chemistry of Materials)
巻： 28  号： 8  ページ： 2668-2676  発行年： 2016年04月26日 
JST資料番号： T0893A  ISSN： 0897-4756  CODEN： CMATEX  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 電子デバイス用の有機系材料として,無機-有機ハイブリッド材料に着目した。ハイブリッド材料をナノスケールで設計し,無機-有機ヘテロ構造を創出するためには,ハイブリッド材料の堆積メカニズムを明確化することが重要である。原子層堆積の前駆体と相互作用する官能基を持たないポリマーとして,非反応性ポリマーマトリックスに着目した。非反応性ポリマーマトリックスでの堆積メカニズムを解明するために,原子層堆積法の利用について検討した。原子層堆積法で気相から平滑でコンフォーマルな被覆をポリマーマトリックス上に堆積した。マトリックスの結晶化度および成長温度の影響を調べた。特に,異なる反応温度において,ZnO前駆体とP3HTの反応を調べた。反応性ポリマーマトリックスの場合,無機相の取り込みの量は,前駆体の拡散とマトリックスの反応性との相互作用で決まった。非反応性ポリマーマトリックスの場合には,無機相の取り込みの量は,マトリックス中の前駆体の保持によって決定される核形成速度によって著しく影響されることが分かった。

シソーラス用語： マトリックス【母体】 ,  反応性高分子 ,  *化学蒸着 ,  単原子層 ,  結晶度 ,  温度依存性 ,  *ポリヘキシルチオフェン ,  非晶質 ,  ナノ複合材料 ,  高分子膜 ,  核形成 ,  *酸化亜鉛
準シソーラス用語： ハイブリッド材料 ,  *ポリママトリックス ,  *原子層堆積

分類 (2件)： 高分子固体の構造と形態学  (CG02022M) ,  酸化物薄膜  (BK14050P)

タイトルに関連する用語 (8件)： 非反応性 ,  ポリマーマトリックス ,  原子層堆積 ,  金属酸化物 ,  堆積 ,  メカニズム ,  ポリマー ,  結晶性