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J-GLOBAL ID：201702253608568341   整理番号：17A0118519

Si MEMSジャイロスコープにおける一桁周波数対称性の集中ばねアーキテクチャ【Powered by NICT】

A concentrated springs architecture for single-digit frequency symmetry in Si MEMS gyroscope

著者 (9件)： Giner J. (Hitachi Ltd. Research and Development Group, Tokyo, Japan) ,  Zhang Y. (Hitachi Ltd. Research and Development Group, Tokyo, Japan) ,  Shiota T. (Hitachi Ltd. Research and Development Group, Tokyo, Japan) ,  Maeda D. (Hitachi Ltd. Research and Development Group, Tokyo, Japan) ,  Ono K. (Hitachi Ltd. Research and Development Group, Tokyo, Japan) ,  Kajiyama S. (Hitachi Ltd. Research and Development Group, Tokyo, Japan) ,  Oshima T. (Hitachi Ltd. Research and Development Group, Tokyo, Japan) ,  Yamawaki T. (Hitachi Ltd. Research and Development Group, Tokyo, Japan) ,  Sekiguchi T. (Hitachi Ltd. Research and Development Group, Tokyo, Japan)
資料名： IEEE Conference Proceedings  (IEEE Conference Proceedings)
巻： 2016  号： SENSORS  ページ： 1-3  発行年： 2016年 
JST資料番号： W2441A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： X-Y対称共振器のための新しい設計アプローチ,速度(RG)または速度積分ジャイロスコープ(RIG)として「キャロベスタプロ」,二機械的異相運転モードに分割一桁作製した周波数できることを報告した。製造公差の影響「デバイス内部の」を軽減するために金型の中心に近い臨界機械要素(シャトル春アンカーモジュール)の濃度を調べた。特性評価の結果は,Δf=0.3HzのサブHz作製した周波数分割,シリコンMEMSジャイロスコープのための文献において見出された最も低い値を示した。予備的リングダウン試験は,330K以上のQ因子を示した。このアプローチで得られた低Δfと高Q係数の両方は,高性能ジャイロスコープの実現のための非常に良好な候補である。Copyright 2017 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All Rights reserved. Translated from English into Japanese by JST【Powered by NICT】

シソーラス用語： Q値 ,  機械要素 ,  周波数逓降 ,  運転モード ,  *ジャイロスコープ ,  *ケイ素 ,  公差 ,  *周波数 ,  臨界 ,  *対称性 ,  キャラクタリゼーション ,  積分 ,  *MEMS
準シソーラス用語： *MEMSジャイロスコープ ,  設計手法 , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (2件)： 発振回路  (NC05020Y) ,  音響信号処理  (BB03050C)

タイトルに関連する用語 (5件)： Si ,  MEMSジャイロスコープ ,  対称性 ,  ばね ,  アーキテクチャ