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J-GLOBAL ID：201702254287144157   整理番号：17A0143929

RF反射率測定に基づく低圧プラズマの衝突周波数の決定【Powered by NICT】

Collision frequency determination of low-pressure plasmas based on RF-reflectometry

著者 (4件)： Schulz Christian (Institute of Microwave Systems, Ruhr-University Bochum, 44801 Bochum, Germany) ,  Rolfes Ilona (Institute of Microwave Systems, Ruhr-University Bochum, 44801 Bochum, Germany) ,  Oberberg Moritz (Institute for Electrical Engineering and Plasma Technology, Ruhr-University, Bochum 44801 Bochum, Germany) ,  Awakowicz Peter (Institute for Electrical Engineering and Plasma Technology, Ruhr-University, Bochum 44801 Bochum, Germany)
資料名： IEEE Conference Proceedings  (IEEE Conference Proceedings)
巻： 2016  号： EuMC  ページ： 807-810  発行年： 2016年 
JST資料番号： W2441A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 低圧プラズマプロセスのロバストな衝突頻度決定を紹介した。多重極共鳴プローブとその場反射測定に基づいて,探針とプラズマとの入力アドミタンスを計算することができる。幅による衝突頻度を決定するために用いることができる。提案した評価は3次元電磁場シミュレーション内の多数のパラメータ変動により研究した。プラズマ電子数,同時に決定し,200MHz以下の4GHzあるいは衝突周波数でできるに対して,二段階補償は信頼できる結果のために必要である。提案した補償に基づいて,±5%の最大誤差はシミュレーション以内で達成される。アルゴン-酸素プラズマにおける最終測定を示し評価の適合性を確認した。Copyright 2017 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All Rights reserved. Translated from English into Japanese by JST【Powered by NICT】

シソーラス用語： 三次元 ,  電磁場 ,  プラズマ処理 ,  適応性 ,  プローブ ,  *低圧 ,  シミュレーション ,  ロバスト性 ,  *プラズマ ,  多重極
準シソーラス用語： 酸素プラズマ ,  パラメータ変動 ,  アドミタンス ,  *衝突周波数 ,  *反射率測定 , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (1件)： プラズマ診断  (BJ02090L)

タイトルに関連する用語 (5件)： RF ,  反射率測定 ,  低圧 ,  プラズマ ,  衝突周波数