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J-GLOBAL ID：201702268852891907   整理番号：17A0463451

薄膜二電極インピーダンスセンサ 開発及び試験

THIN FILM TWO-ELECTRODE IMPEDANCE SENSOR DEVELOPMENT AND TESTS

著者 (5件)： ZABOROWSKI Michal (Inst. Electron Technol., Warsaw) ,  BARANIECKA Anna (Inst. Electron Technol., Warsaw) ,  ZAJAC Jerzy (Inst. Electron Technol., Warsaw) ,  DOMANSKI Krzysztof (Inst. Electron Technol., Warsaw) ,  GRABIEC Piotr (Inst. Electron Technol., Warsaw)
資料名： Proceedings of SPIE  (Proceedings of SPIE)
巻： 10161  ページ： 101610Y.1-101610Y.7  発行年： 2016年 
JST資料番号： D0943A  ISSN： 0277-786X  CODEN： PSISDG  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 薄膜インピーダンスセンサの設計及び作製プロセスを開発した。同心リングの四つのセットの形状をもつAu電極のフレキシビルセンサを作製した。センサのR及びCパラメータを見出し,以前の螺旋形状のセンサと比較した。新しいセンサの低インピーダンス値及び低雑音は,00μmの電極の高い有効面積から生じた。インピーダンス測定におけるセンサの有用性を確認した。センサを,SU-8レジスト層から作製した分離距離をもつシリコン試料で行った間隔モードにおける測定により証明した。このモードにおいて,各種材料のインピーダンスを測定できた。

シソーラス用語： *電気測定 ,  *インピーダンス ,  *金電極 ,  *膜電極 ,  *ウエハ【IC】 ,  電極 ,  環状構造 ,  *ケイ素 ,  *ポリイミド ,  *基板 ,  ヒト ,  *皮膚 ,  *間接測定 ,  層 ,  フォトレジスト ,  ガラス ,  電気抵抗
準シソーラス用語： インピーダンス測定 ,  薄膜電極 ,  リング状電極 ,  誘電層 ,  SU-8 ,  二重電極 ,  抵抗測定 ,  薄膜インピーダンス

分類 (1件)： R,L,C,Q,インピーダンス,誘電率の計測法・機器  (AD07030N)

タイトルに関連する用語 (3件)： 薄膜 ,  開発 ,  試験