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J-GLOBAL ID：201702280780378880   整理番号：17A0289755

ランダム反射防止表面構造の特性評価と非垂直入射角での偏光応答

Characterization of random anti-reflecting surface structures and their polarization response at off-normal angles of incidence

著者 (8件)： SAPKOTA Gopal (Univ. North Carolina at Charlotte, NC, USA) ,  CASE Jason R. (Univ. North Carolina at Charlotte, NC, USA) ,  BUSSE Lynda E. (Naval Res. Lab., Washington, D.C., USA) ,  FRANTZ Jesse A. (Naval Res. Lab., Washington, D.C., USA) ,  SHAW L. Brandon (Naval Res. Lab., Washington, D.C., USA) ,  SANGHERA Jasbinder S. (Naval Res. Lab., Washington, D.C., USA) ,  AGGARWAL Ishwar D. (Sotera Defense Solutions, VA, USA) ,  POUTOUS Menelaos K. (Univ. North Carolina at Charlotte, NC, USA)
資料名： Proceedings of SPIE  (Proceedings of SPIE)
巻： 9927  ページ： 992712.1-992712.8  発行年： 2016年 
JST資料番号： D0943A  ISSN： 0277-786X  CODEN： PSISDG  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 広帯域で無指向性の反射防止構造を実現するために,ランダム反射防止表面構造について検討した。反応性イオンエッチング法を用いて,石英ガラス基板上に反射防止表面構造を作製した。RF電力,エッチングガスの流量比,エッチング時間などのパラメータを変えて,ランダム構造の表面形態を調整した。ランダム構造の表面粗さにより,境界上で勾配屈折率が誘起され,平滑研磨溶融シリカと比較して透過が増強された。波長633nmの非垂直入射角での偏光応答を示し,従来の反射防止構造の特性と比較した。ランダム反射防止表面構造は,垂直入射角で透過を高める構造的特徴を有することが分かった。0°から55°までの入射光に対して透過が増強され,従来の反射防止表面構造よりも性能が優れていた。

シソーラス用語： *反射防止膜 ,  ランダム面 ,  微細構造 ,  *表面構造 ,  キャラクタリゼーション ,  入射角 ,  偏光 ,  *光反射 ,  RIE【エッチング】 ,  石英ガラス ,  透過率 ,  性能指数 ,  表面粗さ
準シソーラス用語： エッチングガス ,  垂直入射 ,  *反射防止構造

分類 (2件)： 光デバイス一般  (BD06010L) ,  光の屈折,反射,分散,偏向,吸収,透過  (BD03020B)

タイトルに関連する用語 (6件)： 反射防止 ,  表面構造 ,  特性評価 ,  垂直入射 ,  偏光 ,  応答