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J-GLOBAL ID：201702281146203347   整理番号：17A0329131

新しいたわみXYθ運動補償器:高精度ウエハレベルチップ検出に向けて【Powered by NICT】

A novel flexure-based XYθ motion compensator: Towards high-precision wafer-level chip detection

著者 (9件)： He Sifeng (Department of Mechatronic Engineering, Guangdong University of Technology, Guangzhou, China) ,  Tang Hui (Department of Mechatronic Engineering, Guangdong University of Technology, Guangzhou, China) ,  Qiu Qian (Department of Mechatronic Engineering, Guangdong University of Technology, Guangzhou, China) ,  Xiang Xiaobin (Department of Mechatronic Engineering, Guangdong University of Technology, Guangzhou, China) ,  Che Junjie (Department of Mechatronic Engineering, Guangdong University of Technology, Guangzhou, China) ,  Chen Chuangbin (Department of Mechatronic Engineering, Guangdong University of Technology, Guangzhou, China) ,  Gao Jian (Department of Mechatronic Engineering, Guangdong University of Technology, Guangzhou, China) ,  Chen Xin (Department of Mechatronic Engineering, Guangdong University of Technology, Guangzhou, China) ,  He Yunbo (Department of Mechatronic Engineering, Guangdong University of Technology, Guangzhou, China)
資料名： IEEE Conference Proceedings  (IEEE Conference Proceedings)
巻： 2016  号： EPTC  ページ： 381-387  発行年： 2016年 
JST資料番号： W2441A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： チップ実装面積の位置決めシステムのための大ストローク,高精度の間の矛盾を解決するために,マクロ/ミクロ複合位置決め戦略は効果的な戦略である。は約100~μmの範囲で,サブナノメータ解像度でエンドエフェクタ運動を生成できることをたわみベースXYθ補償器の開発を提示した;特に平面XYθ運動を生成する平行配置を考察した。本論文の貢献は,新しいXYθ3自由度フレキシブルマイクロポジショナを提案したことであり,これは古典的なものよりも大きい脳卒中を有していた。一連の機構的最適設計の後,設計したナノ位置決め装置の性能を有限要素解析(FEA)法を用いて検証した。実験結果は機構変位増幅比は3.8に達することを示し,最大出力変位は約0.144mmを達成することができる。Copyright 2017 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All Rights reserved. Translated from English into Japanese by JST【Powered by NICT】

シソーラス用語： 分解能 ,  自由度 ,  脳卒中 ,  *たわみ ,  位置決め ,  最適設計 ,  *補償装置
準シソーラス用語： 最大出力 ,  増幅率 ,  有限要素解析 ,  ナノポジショニング ,  位置決めシステム ,  *高精度 , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (9件)： 光デバイス一般  (BD06010L) ,  振動伝搬  (BB02040K) ,  工作機械要素,ジグ,チャック  (QC01020Z) ,  機械の組立  (QC05000F) ,  圧電デバイス  (NC03110I) ,  長さ,面積,断面,体積,容積,角度の計測法・機器  (AD05020O) ,  潤滑一般  (QB02010S) ,  幾何学的・力学的量の計測一般  (AD05010D) ,  制御工学一般  (IC01000V)

タイトルに関連する用語 (4件)： たわみ ,  運動 ,  補償器 ,  ウエハレベル