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J-GLOBAL ID：201702285749931415   整理番号：17A0057907

周波数の低温度係数を持つAINハイブリッドバルク音響波共振器に関する研究【Powered by NICT】

Study on AIN-based hybrid bulk acoustic wave resonator with low temperature coefficient of frequency

著者 (7件)： Yang Shuai (Institute of Semiconductors, Chinese Academy of Sciences, Beijing 100083, China, A 35, Qinghua East Road, Haidian District Beijing) ,  Zhang Yun (Institute of Semiconductors, Chinese Academy of Sciences, Beijing 100083, China, A 35, Qinghua East Road, Haidian District Beijing) ,  Sun Lili (Institute of Semiconductors, Chinese Academy of Sciences, Beijing 100083, China, A 35, Qinghua East Road, Haidian District Beijing) ,  Zhang Lian (Institute of Semiconductors, Chinese Academy of Sciences, Beijing 100083, China, A 35, Qinghua East Road, Haidian District Beijing) ,  Cheng Zhe (Institute of Semiconductors, Chinese Academy of Sciences, Beijing 100083, China, A 35, Qinghua East Road, Haidian District Beijing) ,  Wang Junxi (Institute of Semiconductors, Chinese Academy of Sciences, Beijing 100083, China, A 35, Qinghua East Road, Haidian District Beijing) ,  Li Jinmin (Institute of Semiconductors, Chinese Academy of Sciences, Beijing 100083, China, A 35, Qinghua East Road, Haidian District Beijing)
資料名： IEEE Conference Proceedings  (IEEE Conference Proceedings)
巻： 2016  号： SSLChina: IFWS  ページ： 120-122  発行年： 2016年 
JST資料番号： W2441A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 本論文では,ハイブリッドバルク音響波共振器(ハイブリッド共振器)のデバイス物理とデバイス構造設計,Masonモデルにより,伝統的な薄膜バルク音響波共振器(FBAR)と強固に搭載した共振器(SMR)素子構造の組合せにより形成された新しいタイプのバルク音響共振器を調べた。シミュレーション結果は,温度補償FBAR(TC FBAR)と比較して,入力インピーダンス比(R_a/R_r)は120%増加し,有効電気機械係数(K_t~2)は45%改善されることを示した。さらに,ハイブリッド共振器の性能に及ぼす金属/SiO2Bragg反射器の数の影響を研究し,単一Bragg反射器を有するハイブリッド共振器が最良の性能を示すことが分かった。筆者らのシミュレーション結果は,AlNベースのハイブリッド共振器周波数の低温度係数をもつ高周波フィルタ,発振器とセンサの設計のために非常に有望であることを示す。Copyright 2017 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All Rights reserved. Translated from English into Japanese by JST【Powered by NICT】

シソーラス用語： 温度補償 ,  *共振器 ,  窒化アルミニウム ,  入力インピーダンス ,  音響共振器 ,  周波数 ,  電気機械 ,  素子構造 ,  発振器 ,  シミュレーション ,  *温度係数
準シソーラス用語： 高周波フィルタ ,  Bragg反射器 ,  FBAR ,  *バルク音響波 , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (1件)： 音響変換器,その他の機器  (BB03060N)

タイトルに関連する用語 (5件)： 温度係数 ,  AIN ,  バルク音響波 ,  共振器 ,  研究