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J-GLOBAL ID：201702287067119039   整理番号：17A0644102

異なるSchottky金属を伴うβ-Ga₂O₃Schottkyダイオードの電気的挙動

Electrical behavior of β-Ga₂O₃ Schottky diodes with different Schottky metals

著者 (6件)： Yao Yao (Department of Materials Science and Engineering, Carnegie Mellon University, 5000 Forbes Avenue, Pittsburgh, Pennsylvania 15213) ,  Gangireddy Raveena (Department of Materials Science and Engineering, Carnegie Mellon University, 5000 Forbes Avenue, Pittsburgh, Pennsylvania 15213) ,  Kim Jaewoo (Department of Materials Science and Engineering, Carnegie Mellon University, 5000 Forbes Avenue, Pittsburgh, Pennsylvania 15213) ,  Das Kalyan Kumar (JBP Materials, Morrisville, North Carolina 27560) ,  Davis Robert F. (Department of Materials Science and Engineering, Carnegie Mellon University, 5000 Forbes Avenue, Pittsburgh, Pennsylvania 15213) ,  Porter Lisa M. (Department of Materials Science and Engineering, Carnegie Mellon University, 5000 Forbes Avenue, Pittsburgh, Pennsylvania 15213)
資料名： Journal of Vacuum Science & Technology. B. Nanotechnology and Microelectronics: Materials, Processing, Measurement, and Phenomena  (Journal of Vacuum Science & Technology. B. Nanotechnology and Microelectronics: Materials, Processing, Measurement, and Phenomena)
巻： 35  号： 3  ページ： 03D113-03D113-7  発行年： 2017年05月 
JST資料番号： E0974A  ISSN： 2166-2746  CODEN： JVTBD9  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： (<span style=text-decoration:overline>2</span>01)β-Ga₂O₃基板と(010)β-Ga₂O₃ホモエピタキシャル層によるSchottkyダイオードを,5つの異なる金属(W,Cu,Ni,Ir,Pt)を用いて形成した。Ga₂O₃Schottkyダイオードへの異なる湿式化学表面処理の効果の比較に基づいて,有機溶媒での処理,HClとH₂O₂による洗浄,各段階後の脱イオン水によるすすぎが最良の結果をもたらすことを確立した。選択した5つの金属での電流-電圧(I-V)測定およびキャパシタンス-電圧(C-V)測定から計算したSchottky障壁高さは,それぞれ1.0~1・3および1.6~2.0eVの範囲にあり,金属の仕事関数にはほとんど依存しなかった。いくつかのダイオードは,室温で不均一なSchottky障壁挙動を示した。この結果は,バルクもしくは表面近くの欠陥および/もしくは不活性化されていない表面状態が,Schottky金属の選択やその仕事関数にくらべて,ダイオードの電気的挙動により大きな影響を及ぼすことを示している。(翻訳著者抄録)

シソーラス用語： *Schottky障壁ダイオード ,  *酸化ガリウム ,  *ホモエピタクシー ,  タングステン ,  ニッケル ,  銅 ,  イリジウム ,  白金 ,  化成処理 ,  有機溶媒 ,  洗浄 ,  塩酸 ,  過酸化水素 ,  *電流電圧特性 ,  *容量電圧特性 ,  *高さ ,  欠陥
準シソーラス用語： 化成表面処理 ,  *障壁高さ

分類 (1件)： ダイオード  (NC03050R)

タイトルに関連する用語 (1件)： 挙動