特許
J-GLOBAL ID：202303009363674723
層状物体厚さ測定方法
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
近藤 充和
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2020-087478
公開番号（公開出願番号）：特開2021-181930
特許番号：特許第7406195号
出願日： 2020年05月19日
公開日（公表日）： 2021年11月25日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 導電性を有する導電性物体上に層状に設置されたマイクロ波を少なくとも一部透過する層状物体の厚さを測定する方法であって、 電気信号を入力してマイクロ波を出力し、入力されるマイクロ波を受信して電気信号を出力する送受信アンテナと、マイクロ波の電気信号を発生して前記送受信アンテナに供給し、前記送受信アンテナにより受信されたマイクロ波の電気信号が入力される送受信回路と、を有するマイクロ波送受信装置と、 前記マイクロ波送受信装置を制御する制御装置と、を備え、 前記層状物体の表面にほぼ垂直に周波数を掃引しながらマイクロ波を入射して、前記層状物体から反射されるマイクロ波の強度が極小、又は極大となる周波数を検出し、 前記の検出した周波数に基づいて前記層状物体の厚さを算出し、 前記層状物体の表面に位置制御用のマイクロ波を照射してその反射波を検出する位置制御手段を有し、該位置制御手段により前記送受信アンテナと前記層状物体との間の距離、又は該距離の変化を検出し、前記距離をほぼ一定に保つように制御し、 前記位置制御手段は、前記送受信アンテナから出射されるマイクロ波の前記層状物体の表面への入射角度、又は該入射角度の変化を検出し、前記送受信アンテナから出射されるマイクロ波が前記層状物体の表面にほぼ垂直に入射するように制御することを特徴とする層状物体厚さ測定方法。
IPC (1件)：
FI (1件)：
引用特許：
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