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J-GLOBAL ID：200902100954216027   整理番号：99A1008750

誘導結合プラズマスパッタリング法により作製したYBa₂Cu₃O_y薄膜のマイクロ波特性の評価

著者 (6件)： 鈴木敏幸 (山形大 工) ,  佐藤史郎 (山形大 工) ,  稲堂丸桃子 (山形大 工) ,  楠正暢 (山形大 工) ,  向田昌志 (山形大 工) ,  大嶋重利 (山形大 工)
資料名： 応用物理学会学術講演会講演予稿集  (Extended Abstracts. Annual Meeting. Japan Society of Applied Physics)
巻： 60th  号： 1  ページ： 180  発行年： 1999年09月01日 
JST資料番号： Y0055A  資料種別： 会議録 (C)
発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

タイトルに関連する用語 (6件)： 誘導結合プラズマ ,  スパッタリング法 ,  作製 ,  薄膜 ,  マイクロ波特性 ,  評価