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J-GLOBAL ID：200902109786091091   整理番号：98A0000990

誘導コイル結合型スパッタリングによる高温超伝導薄膜の大面積化の検討

Investigation of induction-coil-coupled sputtering technique for large area HTS thin films.
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著者 (3件)：
楠正暢

楠正暢 について

(山形大 工)

山形大 工 について

, 
高久歩

高久歩 について

(山形大 工)

山形大 工 について

, 
大嶋重利

大嶋重利 について

(山形大 工)

山形大 工 について


資料名：
応用物理学会学術講演会講演予稿集  (Extended Abstracts. Annual Meeting. Japan Society of Applied Physics)

応用物理学会学術講演会講演予稿集 について


巻： 58th  号： 1  ページ： 173  発行年： 1997年10月 
JST資料番号： Y0055A  資料種別： 会議録 (C)
発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)
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タイトルに関連する用語
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誘導コイル

誘導コイル について

, 
スパッタリング

スパッタリング について

, 
超伝導薄膜

超伝導薄膜 について

, 
大面積

大面積 について


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