誘導コイル結合型スパッタリングによるYBCO成膜時の堆積レートと配向性の関係

文献

J-GLOBAL ID：200902117054715249 整理番号：99A0671482

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資料名：
巻： 52nd ページ： 105-106 発行年： 1997年12月
JST資料番号： L1473A 資料種別：会議録 (C)
発行国：日本 (JPN) 言語：日本語 (JA)

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