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J-GLOBAL ID：200902123941041066   整理番号：02A0616149

RFプラズマを用いたカーボングレインの創製

Production of carbon grains by RF plasma.

著者 (5件)： 佐藤岳志 (立命館大 理工) ,  斎藤嘉夫 (京都工繊大) ,  木村勇気 (立命館大 理工) ,  鈴木仁志 (立命館大 理工) ,  かいと千尋 (立命館大 理工)
資料名： 日本結晶成長学会誌  (Journal of the Japanese Association of Crystal Growth)
巻： 29  号： 2  ページ： 159  発行年： 2002年07月01日 
JST資料番号： F0452B  ISSN： 0385-6275  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 平行極板間に発生させたRFプラズマ中にカーボン粒子を通過させ...

シソーラス用語： *炭素 ,...
準シソーラス用語： *プラズマプロセシング

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分類 (3件)： 半導体薄膜  (BK14040E) ,  固体-プラズマ相互作用  (BJ02033W) ,  分子化合物の結晶構造  (BK09050T)

物質索引 (1件)： メタン

タイトルに関連する用語 (4件)： RFプラズマ ,  カーボン ,  グレイン ,  創製