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J-GLOBAL ID：200902143310366665   整理番号：02A0852815

マルチ内部アンテナ方式大面積誘導結合型プラズマの生成

著者 (7件)： 山本直樹 (大阪大 接合科研) ,  馬場創 (科学技術振興事業団) ,  稲実宏 (科学技術振興事業団) ,  江部明憲 (科学技術振興事業団) ,  三宅正司 (大阪大 接合科研) ,  庄司多津男 (名古屋大 大学院) ,  節原裕一 (京大 大学院)
資料名： 応用物理学会学術講演会講演予稿集  (Extended Abstracts. Annual Meeting. Japan Society of Applied Physics)
巻： 63rd  号： 1  ページ： 103  発行年： 2002年09月24日 
JST資料番号： Y0055A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

シソーラス用語： アンテナ ,...

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分類 (1件)： プラズマ診断  (BJ02090L)

タイトルに関連する用語 (4件)： マルチ ,  内部アンテナ ,  大面積 ,  誘導結合型プラズマ