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J-GLOBAL ID：200902164169128701   整理番号：97A0813463

誘導コイル結合型スパッタリングによるYBCO薄膜作製時のT_cとカソード電圧の関係

Relationship between Tc and cathode voltage in YBCO deposition using induction-coil-coupled sputtering.

著者 (4件)： 楠正暢 (山形大 工) ,  江畑克史 (山形大 工) ,  高野祥暢 (山形大 工) ,  大嶋重利 (山形大 工)
資料名： 電子情報通信学会大会講演論文集  (電子情報通信学会ソサイエティ大会講演論文集)
巻： 1997  号： ソサイエティ C2  ページ： 28  発行年： 1997年09月 
JST資料番号： G0508A  ISSN： 1349-1369  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 酸化物高温超伝導材料のマイクロ波応用の発展に伴い,薄膜の大面...

シソーラス用語： *スパッタリング ,...
準シソーラス用語： 陰極 ,...

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分類 (1件)： 薄膜成長技術・装置  (BK14020I)

タイトルに関連する用語 (6件)： 誘導コイル ,  スパッタリング ,  YBCO薄膜 ,  作製 ,  Tc ,  カソード