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J-GLOBAL ID：200902293548407078   整理番号：05A0394527

プラズマクリーナーによるFIB加工試料のTEM像質改善の試み

著者 (7件)： 波多聡 (九大 大学院) ,  板倉賢 (九大 大学院) ,  友清芳二 (九大 大学院) ,  ソシアティ ハリニ (九大 大学院) ,  桑野範之 (九大 産学連携セ) ,  中野貴由 (大阪大 院) ,  馬越佑吉 (大阪大 院)
資料名： 日本金属学会講演概要  (Collected Abstracts of the Meeting of the Japan Institute Metals)
巻： 136th  ページ： 429  発行年： 2005年03月29日 
JST資料番号： S0988A  ISSN： 1342-5730  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

シソーラス用語： *透過型電子顕微鏡 ,...

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分類 (2件)： 金属組織観察法  (WB01010R) ,  プラズマ応用  (BJ02110K)

タイトルに関連する用語 (6件)： プラズマ ,  FIB ,  試料 ,  TEM ,  像質 ,  試み