窒化ガリウムの製造方法

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：高橋祥泰 , 岩倉民芳 , 高橋祥起
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-154184
公開番号（公開出願番号）：特開2009-051721
出願日： 2008年06月12日
公開日（公表日）： 2009年03月12日
要約：

【課題】窒化ガリウムを、低温、低圧において結晶成長させることができる窒化ガリウムの製造方法を提供する。【解決手段】酸化ガリウムと窒化リチウムとを、液体の金属浴中において反応させることにより、窒化ガリウムを結晶成長させる、窒化ガリウムの製造方法。金属浴はガリウムからなることが好ましい。窒化ガリウムの結晶成長反応は、700°C以上の反応温度において行うことが好ましい。また、窒化リチウムに対する酸化ガリウムのモル比は、1/4以下であることが好ましい。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

酸化ガリウムと窒化リチウムとを、液体の金属浴中において反応させることにより、窒化ガリウムを結晶成長させることを特徴とする窒化ガリウムの製造方法。

IPC (2件)：

C30B 29/38 , C30B 9/10

FI (2件)：

C30B29/38 D , C30B9/10

Fターム (8件)：

4G077AA02 , 4G077BE15 , 4G077CC04 , 4G077EA01 , 4G077EC08 , 4G077HA02 , 4G077HA06 , 4G077HA12

引用特許：

出願人引用 (2件)

III族窒化物結晶、その成長方法、成長装置および半導体デバイス
公報種別：公開公報出願番号：特願2001-325500 出願人：株式会社リコー
III族窒化物の製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2003-394213 出願人：北川工業株式会社, 箕浦秀樹, 馬淵彰

引用文献：

出願人引用 (2件)

前のページに戻る