観察装置

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：上田邦生 , 藤田考晴
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-026497
公開番号（公開出願番号）：特開2009-186753
出願日： 2008年02月06日
公開日（公表日）： 2009年08月20日
要約：

【課題】送り機構のバックラッシュやステッピングモータの脱調、あるいはピエゾアクチュエータのヒステリシス等の影響を受けることなく、対物レンズの焦点位置を精度よく数μm移動させる。【解決手段】所定の波長の光を出射する光源3と、該光源3から出射された光を観察対象Aに照射する照明光学系4と、該照明光学系により観察対象Aに照射された光の観察対象Aにおける透過光を集光する対物レンズ12を有する検出光学系5と、該検出光学系5により集光された透過光を撮影する撮像素子6とを備え、検出光学系5が、観察対象Aと撮像素子6との間の光路上に、該光路における光学的距離を変化させる光学的距離可変手段13〜15を備える観察装置1を提供する。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

所定の波長帯域の光を出射する光源と、該光源から出射された光を観察対象に照射する照明光学系と、該照明光学系により観察対象に照射された光の観察対象における透過光を集光する対物レンズを有する検出光学系と、該検出光学系により集光された透過光を撮影する撮像素子とを備え、前記検出光学系が、前記観察対象と前記撮像素子との間の光路上に、該光路における光学的距離を変化させる光学的距離可変手段を備える観察装置。

IPC (3件)：

G02B 21/00 , G02B 21/36 , G02B 7/04

FI (3件)：

G02B21/00 , G02B21/36 , G02B7/04 C

Fターム (6件)：

2H044BB00 , 2H052AB01 , 2H052AB29 , 2H052AD03 , 2H052AD31 , 2H052AF14

引用特許：

出願人引用 (1件)

国際公開第00/26622号パンフレット

審査官引用 (6件)

特開昭51-107145
特開昭51-070650
物質状態測定装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2005-268837 出願人：国立大学法人東京大学, 西華産業株式会社

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