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J-GLOBAL ID：201002270971569093   整理番号：10A0445304

プラズマ技術の新しい挑戦 研究開発の効率を飛躍的に高めるコンビナトリアルプラズマ解析装置

著者 (4件)： 白谷正治 (九大 大学院システム情報科学研究院) ,  節原裕一 (大阪大 接合科研) ,  関根誠 (名古屋大 プラズマナノ工セ) ,  堀勝 (名古屋大 大学院工学研究科)
資料名： 化学工業  (Chemical Industry)
巻： 61  号： 5  ページ： 371-375  発行年： 2010年05月01日 
JST資料番号： F0101A  ISSN： 0451-2014  CODEN： KAKOA  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 解説  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 研究開発の効率を飛躍的に高めることが可能なコンビナトリアルプラズマ解析装置の開発状況について概説し,下記事項などについて解説した。1)プロセス開発の基盤とナノ領域での量産製造技術の実現,2)コンビナトリアルプラズマ解析装置,3)傾斜プラズマ生成法,4)ラジカルのその場モニタリング法,5)プラズマエッチングへの適用例,6)プラズマCVDへの適用例,7)ナノ粒子含有膜のコンビナトリアルプラズマCVDを実現する装置。

シソーラス用語： プラズマ応用 ,  *プラズマ化学反応 ,  *研究開発 ,  *効率化 ,  コンビナトリアルケミストリー ,  *プラズマ処理 ,  プラズマ装置 ,  大量生産 ,  *生産プロセス ,  プロセス解析 ,  その場観察 ,  *監視装置 ,  プラズマCVD ,  ナノ粒子 ,  プラズマエッチング ,  *改変
準シソーラス用語： *プラズマプロセシング ,  *モニタリングシステム

分類 (2件)： プラズマ応用  (BJ02110K) ,  プラズマ装置  (BJ02082I)

タイトルに関連する用語 (4件)： プラズマ ,  研究 ,  開発 ,  解析装置