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J-GLOBAL ID:201202227044979480   整理番号:12A0309090

Sn-Auフリップチップの接合における界面への真空紫外光およびギ酸を用いたフラックスレス接合技術の基礎検討

著者 (6件):
資料名:
巻: 18th  ページ: 399-402  発行年: 2012年01月31日 
JST資料番号: L2496A  資料種別: 会議録 (C)
記事区分: 短報  発行国: 日本 (JPN)  言語: 日本語 (JA)
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分類 (2件):
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固体デバイス製造技術一般  ,  その他の表面処理 
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