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J-GLOBAL ID：201302296774144707   整理番号：13A1721453

フルオロカーボン(FC)・ハイドロフルオロカーボン(HFC)プラズマエッチングにおけるSiN/SiO₂選択性の解析

著者 (6件)： 三宅啓太 (大阪大 工) ,  礒部倫郎 (大阪大 工) ,  深沢正永 (ソニー) ,  長畑和典 (ソニー) ,  辰巳哲也 (ソニー) ,  浜口智志 (大阪大 工)
資料名： 応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM)  (Extended Abstracts. JSAP Autumn Meeting (CD-ROM))
巻： 74th  ページ： ROMBUNNO.17A-C2-1  発行年： 2013年08月31日 
JST資料番号： Y0055B  ISSN： 2758-4704  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

シソーラス用語： *プラズマエッチング ,  窒化ケイ素 ,  酸化ケイ素 ,  *脂肪族フッ素化合物 ,  表面反応 ,  プラズマ化学反応 ,  計算機シミュレーション ,  選択性 ,  化学選択性 ,  分子動力学シミュレーション ,  *HFC【冷媒】 ,  計算機利用 ,  利用
準シソーラス用語： *ハイドロフルオロカーボン【冷媒】 ,  *フルオロカーボン

分類 (1件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (7件)： フルオロカーボン ,  ハイドロフルオロカーボン ,  HFC ,  プラズマエッチング ,  SiN ,  SiO2 ,  解析