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J-GLOBAL ID：201402298670320350   整理番号：14A1100637

ナノ秒パルスレーザー照射によるAu/Si複合表面ナノ構造の作製

著者 (7件)： 吉田裕 (北大) ,  吉田裕 (北大 工) ,  渡辺精一 (北大 工) ,  大西広 (北大 電子科研) ,  大西広 (北大) ,  松尾保孝 (北大 電子科研) ,  加藤隆彦 (日立 日立研)
資料名： 応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM)  (Extended Abstracts. JSAP Autumn Meeting (CD-ROM))
巻： 75th  ページ： ROMBUNNO.19P-PA2-1  発行年： 2014年09月01日 
JST資料番号： Y0055B  ISSN： 2758-4704  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

シソーラス用語： パルス ,  *レーザ照射 ,  ナノ構造 ,  電子ビームリソグラフィー ,  走査電子顕微鏡 ,  *表面構造 ,  *金属薄膜 ,  ナノワイヤ ,  ナノ秒パルス ,  *金膜 ,  *構造
準シソーラス用語： ナノ細線 ,  *金薄膜 ,  走査型電子顕微鏡 ,  電子線描画

分類 (2件)： 金属の表面構造  (BK15020P) ,  レーザ照射・損傷  (BK16040S)

タイトルに関連する用語 (5件)： ナノ秒パルスレーザー ,  Au ,  Si ,  表面ナノ構造 ,  作製