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J-GLOBAL ID：201502246849084591   整理番号：15A0501287

塩素系電子線レジストの初期過程の解明に関するパルスラジオリシス

著者 (10件)： 坂本瑞樹 (早稲田大) ,  保坂勇志 (早稲田大) ,  川内洋平 (早稲田大) ,  坂上和之 (早稲田大) ,  大島明博 (大阪大) ,  大山(五輪)智子 (日本原子力研究開発機構) ,  田川精一 (早稲田大) ,  田川精一 (大阪大) ,  田川精一 (JST-CREST) ,  鷲尾方一 (早稲田大)
資料名： 放射線化学討論会講演要旨集  (Program and Abstract. Annual Meetings of the Japanese Society of Radiation Chemistry)
巻： 55th  ページ： 83-84  発行年： 2012年09月26日 
JST資料番号： L0690A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

シソーラス用語： *パルス放射線分解 ,  *電子線レジスト ,  *反応機構 ,  電子照射 ,  反応中間体 ,  電荷移動錯体 ,  吸収スペクトル

分類 (2件)： 放射線化学一般  (CB09010B) ,  固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (5件)： 塩素 ,  電子線レジスト ,  初期 ,  過程 ,  パルスラジオリシス