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J-GLOBAL ID：202202275363836063   整理番号：22A2572679

レーザー吸収分光法による大気圧プラズマ中の不純物濃度測定-プラズマビュレットの不純物濃度依存性-

Measurement of Impurity Concentration in Atmospheric Pressure Plasma Using Laser Absorption Spectroscopy-Impurity Concentration Dependence of Plasma Bullets-

著者 (2件)： 荒巻光利 (日本大 生産工) ,  北野勝久 (大阪大)
資料名： 静電気学会誌  (Journal of the Institute of Electrostatics Japan)
巻： 46  号： 5  ページ： 178-182  発行年： 2022年09月30日 
JST資料番号： S0175A  ISSN： 0386-2550  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 解説  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： ・低い不純物濃度の作動ガス中のプラズマビュレットの不純物濃度の,吸収分光法による測定法,および,ppmからppbレベルの不純物濃度におけるプラズマビュレットの測定結果の紹介。
・プラズマビュレットによって生成された準安定ヘリウム原子は,ヘリウム原子との3体衝突,窒素分子および酸素分子によるクェンチングによって脱励起するため,減衰時定数から不純物濃度が測定可能。
・ガス置換およびガス純化装置により,不純物濃度を100ppm程度から1ppm以下まで変化させプラズマビュレットの速度およびサイズの変化を調査。
・不純物濃度が比較的高い領域では,不純物濃度に比例したプラズマビュレットの伝搬速度の増加が観測。
・不純物濃度が低い領域では,伝搬速度は一定値となるとともにビュレットサイズの急激な増加が観測。

シソーラス用語： レーザ分光法 ,  *大気プラズマ ,  *不純物 ,  *不純物濃度 ,  *プラズマ ,  原子 ,  減衰定数 ,  速度 ,  *プラズマ不純物 ,  ヘリウム原子 ,  伝搬速度
準シソーラス用語： レーザー吸収分光法 ,  大気圧プラズマ ,  *プラズマビュレット ,  準安定性

分類 (1件)： プラズマ診断  (BJ02090L)

引用文献 (19件)：

• 北野勝久,浜口智志: 低周波大気圧マイクロプラズマジェット. 応用物理学会誌, 77[4](2008)383
• N. Mericam-Bourdet, M. Laroussi, A. Begum and E. Karakas: Experimental investigations of plasma bullets. J. Phys. D: Appl. Phys., 42, 055207 (2009)
• J. Jansky and A. Bourdon: Simulation of helium discharge ignition and dynamics in thin tubes at atmospheric pressure. Appl. Phys. Lett., 99, 161504 (2011).
• L. Ji, Y. Xia, Z. Bi, J. Niu and D. Liu: The density and velocity of plasma bullets propagating along one dielectric tube. AIP Adv., 5, 087181 (2015)
• K. Tachibana, Y. Kishimoto and O. Sakai: Measurement of metastable He* (23S1) density in dielectric barrier discharges with two different configurations operating at around atmospheric pressure. J. Appl. Phys., 97, 123301 (2005)

タイトルに関連する用語 (5件)： レーザー吸収分光法 ,  大気圧プラズマ ,  不純物濃度 ,  プラズマ ,  依存性