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J-GLOBAL ID：200902167342651449   整理番号：99A0974235

Pt/PZT/Pt構造キャパシタにおけるPZT薄膜の結晶性及び強誘電性の評価

著者 (6件)： 藤田博丈 (名古屋大 大学院) ,  今出光則 (名古屋大 大学院) ,  坂下満男 (名古屋大 大学院) ,  酒井朗 (名古屋大 大学院) ,  財満鎮明 (名古屋大) ,  安田幸夫 (名古屋大 大学院)
資料名： 応用物理学会学術講演会講演予稿集  (Extended Abstracts. Annual Meeting. Japan Society of Applied Physics)
巻： 60th  号： 2  ページ： 446  発行年： 1999年09月01日 
JST資料番号： Y0055A  資料種別： 会議録 (C)
発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

タイトルに関連する用語 (7件)： Pt ,  PZT ,  キャパシタ ,  薄膜 ,  結晶性 ,  強誘電性 ,  評価