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J-GLOBAL ID：200902188703832033   整理番号：99A0974876

Si(100)表面の初期酸化過程のCAICISS法による研究

著者 (6件)： 早稲倉真樹 (名古屋大) ,  東誠人 (名古屋大) ,  池田浩也 (名古屋大) ,  酒井朗 (名古屋大) ,  財満鎮明 (名古屋大) ,  安田幸夫 (名古屋大)
資料名： 応用物理学会学術講演会講演予稿集  (Extended Abstracts. Annual Meeting. Japan Society of Applied Physics)
巻： 60th  号： 2  ページ： 663  発行年： 1999年09月01日 
JST資料番号： Y0055A  資料種別： 会議録 (C)
発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

タイトルに関連する用語 (6件)： Si ,  初期 ,  酸化 ,  過程 ,  CAICISS ,  研究