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J-GLOBAL ID：200902265871398750   整理番号：05A0661540

電流検出型原子間力顕微鏡を用いたLa₂O₃-Al₂O₃複合膜の局所リーク電流評価

Analysis of Local Leakage Current on La₂O₃-Al₂O₃ Composite Films by Conductive Atomic Force Microscopy

著者 (8件)： 世古明義 (名古屋大 大学院工学研究科) ,  佐合寿文 (名古屋大 大学院工学研究科) ,  藤塚良太 (名古屋大 大学院工学研究科) ,  藤塚良太 (東芝) ,  坂下満男 (名古屋大 大学院工学研究科) ,  酒井朗 (名古屋大 大学院工学研究科) ,  小川正毅 (名古屋大 先端技術共同研究セ) ,  財満鎮明 (名古屋大 大学院工学研究科)
資料名： 電子情報通信学会技術研究報告  (IEICE Technical Report (Institute of Electronics, Information and Communication Engineers))
巻： 105  号： 109(SDM2005 70-86)  ページ： 35-39  発行年： 2005年06月03日 
JST資料番号： S0532B  ISSN： 0913-5685  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： パルスレーザー蒸着法及び堆積後熱処理によって形成したLa<s...

シソーラス用語： *漏れ電流 ,...

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分類 (3件)： トランジスタ  (NC03070N) ,  固体デバイス製造技術一般  (NC03030V) ,  酸化物薄膜  (BK14050P)

引用文献 (14件)：

• IKEDA, H. Surf. Sci. 2000, 493, 2426
• HONDA, K. Jpn. J. Appl. Phys. 2004, 43, 1571
• IKEDA, H. Jpn. J. Appl. Phys. 2003, 42, 1949
• WATANABE, Y. Jpn. J. Appl. Phys. 2004, 43, L144
• WATANADE, Y. Jpn. J. Appl. Phys. 2004, 43, 4679

タイトルに関連する用語 (7件)： 電流検出 ,  原子間力顕微鏡 ,  La2O3 ,  Al2O3 ,  複合膜 ,  リーク電流 ,  評価