量子線支援原子間力顕微法および量子線支援原子間力顕微鏡

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：佐川慎悟
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-126099
公開番号（公開出願番号）：特開2005-308554
特許番号：特許第4596813号
出願日： 2004年04月21日
公開日（公表日）： 2005年11月04日
請求項（抜粋）：

【請求項1】試料表面の原子に対して元素固有の所定の電子遷移エネルギーを有する光量子、電子、荷電粒子等の量子線を入射し、この量子線が入射された試料表面原子と探針先端との間の相互作用力の変化が生じたエネルギー位置を検出し、前記元素の各化学状態における最外殻への内殻電子遷移エネルギー分布と比較することにより、前記試料表面の化学状態を分析することを特徴とする量子線支援原子間力顕微法。

IPC (1件)：