文献
J-GLOBAL ID:201202107503129546
整理番号:12A1346604
Si(001)面上のCoSi2固相エピタキシャル成長過程に与える吸着Sbの効果
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著者 (6件):
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資料名:
巻:
61st
号:
2
ページ:
755
発行年:
2000年09月03日
JST資料番号:
Y0055A
資料種別:
会議録 (C)
発行国:
日本 (JPN)
言語:
日本語 (JA)
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