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J-GLOBAL ID：201202116365433815   整理番号：12A1345640

PZT薄膜の結晶構造及び強誘電性に及ぼすターゲット組成と蒸着時の酸素雰囲気の効果

著者 (7件)： 後藤覚 (名大 院) ,  藤田博丈 (名大 院) ,  縣伸一 (名大 院) ,  坂下満男 (名大 院) ,  酒井朗 (名大 院) ,  財満鎭明 (名大 先端研) ,  安田幸夫 (名大 院)
資料名： 応用物理学会学術講演会講演予稿集  (Extended Abstracts. Annual Meeting. Japan Society of Applied Physics)
巻： 61st  号： 2  ページ： 431  発行年： 2000年09月03日 
JST資料番号： Y0055A  資料種別： 会議録 (C)
発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

タイトルに関連する用語 (8件)： PZT ,  薄膜 ,  結晶構造 ,  強誘電性 ,  ターゲット ,  組成 ,  蒸着 ,  酸素雰囲気